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TOC計 型式:A1000シリーズ

純水・超純水向けTOC計A1000シリーズは、世界中の純水プラントで広く利用されている
最も信頼のおけるTOC計です。独自のストップフロー方式により、TOC濃度や酸化分解用の
UVランプの性能変化に影響されず、有機物の完全酸化を行い低濃度のTOCを安定して
測定します。
試薬やキャリアガスが不要で、流量や圧力の影響も受けません。  

A1000シリーズの測定アルゴリズムを進化させ、超々純水向けとしたA1000-XPシリーズは、
測定下限値0.05ppbと他社の追従を許さない超高精度なTOC測定が可能です。
酸化の為の溶存酸素量が少ない環境でも、安定した測定が行えます。
試薬やキャリアガスが不要といった、使い易さはA1000シリーズと共通です。

 

主な特長

・ 測定には試薬やキャリアガスを使用しません
・ ストップ・フロー方式、およびUV光と酸化チタンを用いた光触媒反応により、
  水中の有機化合物を二酸化炭素と水に完全分解する原理に基づいて設計されており、
  低濃度TOCの測定を安定して行えます
・ 特にXP型はUVランプの高出力化、安定性とUV光の透過率の向上、
  更に酸化終了のエンドポイント検出用の新アルゴリズムとステップコンペンセーションを
  導入した計算式を導入することで、溶存酸素の少ない領域でも高精度な測定を可能としています
・ センサー部とコントローラ部を分離したタイプでは最大8台までネットワーク接続が可能

 

測定方式・原理

TOC測定において、サンプル水中の有機物を完全酸化分解させTOC値を正確に評価することは、最も重要な要素の一つです。
Anatelが開発したストップフローとは、一つのセルで同一サンプル内の有機物が完全に酸化分解するまで保持する機能です。同一サンプルを完全酸化する為、精度の高いTOC測定が可能になります。
完全酸化分解の判断は、酸化曲線の変位(特許取得の特殊微分回路)にて常時評価し、変位が「0」になった時点を酸化終了と判断しています。
オンラインで同一サンプル中の有機物を完全酸化分解させ、そのTOCを検出できるのは世界で唯一AnatelのTOC分析技術だけです。

【ストップフロー方式のメリット】
・ 1本の導電率センサーで検出しているため、
  より高感度で誤差の少ない測定が可能
・ UV照射力が減衰しても、UV照射時間を自動的に延長して
  完全酸化するまで酸化分解を実行することが可能
・ バッチ式のため、流量依存性がない

 

オプション

分離型センサー(A1000-S10、A1000-XPS)をご使用される場合、コントローラー部C80が必要となります。C80は最大8台までのセンサーとの接続が可能です。

 

アプリケーション例

・ 300㎜ラインの半導体工場や液浸露光装置用の超純水の管理
・ 液晶、フラットパネル・ディスプレイ工場における純水製造システムの管理
・ 発電所などの純水の管理

 

仕様

測定仕様-A1000シリーズ

測定レンジ 0.05 ~ 1,999 ppb
確度 ±0.5 ppb または 読み値の±5%  どちらか大きい方
分解能 0.01 ppb (≦19.99 ppb)
0.1 ppb (20.0 ~ 199.9 ppb)
1 ppb (200 ~ 1,999 ppb)
比抵抗範囲 0.2 ~ 18.2 MΩ・㎝
導電率測定レンジ 0.05 ~ 100 μS/cm

測定仕様-A1000 XPシリーズ

測定レンジ 0.020 ~ 1,999 ppb (XPモード)
2.00 ~ 1,999 ppb (標準モード)
確度

± 0.05 ppb (00.999ppb)

± 0.1 ppb (1.0001.999ppb)

± 0.5ppb または 読み値の±5% どちらか大きい方(21999ppb)

分解能

0.001 ppb (1.999ppb)

0.01 ppb (19.99 ppb)

0.1 ppb (20.0-199.9ppb)

1 ppb (200-1999ppb)

比抵抗範囲

15.0 18.2 MΩ・cm   XPモード〕

0.2 18.2 MΩ・cm  標準モード〕

導電率測定レンジ 0.05 ~ 100 μS/㎝

測定条件、装置仕様など

サンプル水比抵抗 (1) 5 MΩ・㎝ 以上 (全サンプル水)
(2) 1 MΩ・㎝ 以上 (中性水: pH7)
(3) 0.1 MΩ・㎝ 以上 (CO2が導電物質のサンプル水)
サンプル水温度 0 ~ 100℃ 
( 18 ~ 32℃ 〔XPモード〕 )
サンプル流量 80 mL/min 以上
耐圧 10 ~ 100 psi (60 ~ 690 kPa)
電源/消費電力 100 ~ 240 VAC ±10%、50/60 Hz / 最大80VA (0.8A 100V使用時)
寸法/重量 ポータブル型: 350mm (H) x 200mm (W) x 165mm (D) / 6.8kg
分離型(センサー部): 350mm (H) x 172mm (W) x 115mm (D) / 5.4kg
周囲環境 5 ~ 40℃、95% RH(結露なし)
I/Oコネクション 4-20mAアナログ出力x1 (オプションで比抵抗の出力も可能)、アラーム出力x1
ネットワークケーブル長 最大1km
配管接続 SS 1/4インチ スウェージロック (IN-OUT共)
その他 ポータブル型はサーマルプリンター、キャリング用ハンドル付

      

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