製品案内

 

リモート型 パーティクルカウンター 【レーザー光源 3年保証】
Model :4803 / 4805 / 4815

 

概要

本器は、吸引量28.3L/分と大吸引量2.83 L/分の2タイプを用意しており、小型軽量で、半導体、液晶、精密電子部品、製造装置、医薬品、食品等の製造ラインの清浄度を、常時連続監視を目的としたセンサです。
保証期間3年の長寿命半導体レーザーを光源としており、長期間にわたって安定した性能を提供します。  

 

主な特長

・ 超小型多点モニタリング用パーティクルカウンタ
・ 最小可測粒径 0.3μm,0.5μmの2タイプ
・ SUS仕様
・ クリーンルームの多点監視,プロセス装置などの発塵モニタ用  

 

仕様

粒径チャンネル 0.3/0.5μm (R4803/R4903/R5813)
0.5/5.0μm (R4805/R4815/R4905/R4915/R5815)
サンプル吸引量 28.3 L/分 (R4803/R4805/R4903/R4905)
28.3 L/分 (R4815/R4915/R5813/R5815)
寸法 94(W)×47(H)×38(D)mm (R4800/R4900シリーズ)
175(W)×109(H)×127(D)mm (R5800シリーズ)
重量 94(W)×47(H)×38(D)mm (R4800/R4900シリーズ)
175(W)×109(H)×127(D)mm (R5800シリーズ)
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