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エレクトロニクス業界

半導体や液晶パネルの製造工程で欠かせない超純水の水質管理、窒素や水素、オゾン等を付加した機能水の管理、回収水・排水の水質監視など、製造現場における様々な水質測定ニーズに応える製品を取り揃えております。

 

超純水、機能水の溶存ガス測定

超純水中に微量に存在する酸素(O2)、水素(H2)、窒素(N2)、二酸化炭素(CO2)、オゾン(O3)を測定するセンサー、および卓上型(デスクトップ)、壁掛け型(ウォールマウント)、プロセス組込型(パネルマウント)、可搬型(ポータブル)など使用環境に応じて選択できる表示器本体をご提供いたします。

0.1ppb以下の超低濃度から2,000ppmの高濃度まで測定可能な広範囲の直線性を誇るECセンサー、世界で唯一の窒素、炭酸ガスの連続測定が可能なTCセンサー、メンテナンスの手間やコストを大幅に低減できる光学式(蛍光式)の酸素センサーなど、長年にわたる実績を持つハックの独自の技術が盛り込まれた豊富なセンサー製品ラインナップの中から用途に適した製品をお選びいただけます。

 
対応製品
 

超純水の微粒子測定(パーティクルカウンター)

超純水中に含まれる直径0.1μm大の微粒子を高精度で測定します。 高圧、大流量のサンプルにも対応し、素早いレスポンスで測定が可能です。また、窒素ガスの供給が不要なため小型軽量(コンパクト)であるので、持ち運びも容易です。

 
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超純水のTOC(有機炭素)測定

CMP工程の最終洗浄に使用される超純水中の微量なTOC(有機炭素)を0.001ppbの高分解能で0.02ppbの測定下限値まで測定可能です。

試薬やキャリアガスを使用せず、ストップフロー方式とアナテル独自のアルゴリズムによる完全酸化の判定プロセスによって、安定して精密なTOC測定を行います。

使用環境に応じて、卓上型(デスクトップ)、壁掛け型(ウォールマウント)、プロセス組込型(パネルマウント)、可搬型(ポータブル)など様々な表示器本体をお選びいただけます。

 
対応製品
 

回収水、排水中のTOC(有機炭素)監視

回収水、排水中のTOC(有機炭素)をオンラインで連続測定します。最小感度6ppbの低濃度用から最高100,000ppmの高濃度用まで、幅広い用途に応じたラインナップを取り揃えています。

ほとんどの妨害物質の影響を受けず、フッ素・フッ酸等が混入した回収水にも耐えられます。また、セルフクリーニング機能により測定毎に内部洗浄を行うことで、フィルター洗浄や内部配管の分解洗浄といった面倒なメンテナンス作業が不要です。

オプションで1台で最大6流路の測定にも対応可能です

 
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